TSP Cartridge

TSP钛升华泵

钛升华泵（TSPs）常与离子泵联用或独立工作，用于清除真空环境中的活性气体。与离子泵配合使用时，钛升华泵可在更短时间内达到极低极限压力。所有钛升华泵组件均可承受400°C的烘烤温度。

灯丝组件安装在2.75” CF (DN 35)接口上。该贯穿装置支撑着三根钛钼合金灯丝，并设有接地隔离的回流通路。每根灯丝含有1.5克可用钛材，平均运行时间为20小时。