真空计校准系统
CS3真空计校准系统是一款采用静态比较法，通过两个标准薄膜规来静态比对和校准待测真空规，真空度量程在1*10-4 mbar ~ 105 mbar的一套真空系统，适用于皮拉尼规，热电偶规，薄膜规的校准。
1.设备概述
CS3真空计校准系统是一款采用静态比较法，通过两个标准薄膜规来静态比对和校准待测真空规，真空度量程在1*10-4 mbar ~ 105 mbar的一套真空系统，适用于皮拉尼规，热电偶规，薄膜规的校准。
2.系统核心组成及技术参数
设备 | 型号/规格 | 核心参数 |
校准腔体 | 316L不锈钢圆柱腔 | 容积：10L |
分子泵 | Leybold Turbovac 90i | 抽速：90L/S；极限真空：＜8E-8mbar |
隔膜泵 | Leybold Hivac 1.4 | 抽速：1.4m3/h；极限真空：＜1mbar |
超高真空插板阀 | DN63 ISO-K | 泄漏率：<1×10⁻⁹ mbar·L/s |
微漏进气阀 | DN16KF微漏阀 | 调节分辨率：0.001 sccm |
全量程监控规 | Leybold PTR90RN | 量程：10⁻⁹~1100 mbar |
标准规(高压) | INFICON CDG025D 1000Torr | 量程：0.133~1333 mbar |
标准规(低压) | INFICON CDG025D 1Torr | 量程：1.33*10-4~1.33 mbar |
真空控制器 | Leybold Graphix Three | 支持通道数：3路 |
3.静态比对校准流程
步骤1：系统准备
打开DN63插板阀，一键启动隔膜泵和分子泵，系统真空度降至5*10-6mbar以下
步骤2：静态压力建立
l 低压段校准（10-4~1*10-2 mbar）
微调DN16KF阀注入N₂ → 目标压力稳定在10-4~1*10-2 mbar范围内（PTR90RN监控）
读取3次标准规(1Torr)值与被校规值
l 中压段校准（10-2~1 mbar）
关闭分子泵
微调DN16KF阀注入N₂ → 目标压力稳定在10-2~1mbar范围内（PTR90RN监控）
读取3次标准规(1Torr)值与被校规值
l 高压段校准（1~10⁵ mbar）
关闭分子泵→ 关闭DN63插板阀
微调DN16KF阀注入N₂ → 目标压力稳定在1~10⁵ mbar范围内（PTR90RN监控）
读取3次标准规(1Torr)值与被校规值
步骤3：数据处理
人工记录Graphix Three显示值，每点重复测量3次取均值
校准误差公式：
Error=（Ptest−Pstd）/Pstd×100%
4. 核心优势设计
项目 | 本方案设计 | 传统方案对比 |
压力稳定性 | ±0.5%设定值 (靠微漏阀精密调节) | ±2%~5% (手动针阀调节) |
量程衔接 | 双标准规无缝覆盖 | 单规量程受限需切换 |
分子泵保护 | DN63插板阀隔离高压段 | 分子泵直接暴露风险 |
操作效率 | 单点校准≤8分钟 | ≥15分钟 |
