HyTan NEG-Ion Pumps

HyTan NEG-离子泵复合泵

结合了NEG和离子泵的优点，重新定义了UHV（超高真空）抽气技术。NEG 泵不仅能高速抽取H₂，还能抽取N₂、O₂和CO等化学性质活跃的气体，而离子泵则能有效处理各种气体种类，尤其是惰性气体和甲烷。HyTanNEG-离子泵复合泵将两者的优势结合在一起，在超高真空领域实现了无与伦比的气体去除效率。

HyTan NEG-离子泵复合泵采用创新方法，将所有泵组件插入用户的真空腔室中，从而最大限度地提高了性能并节省了空间。这种流线型设计减少了泵的外部占地面积，是外部空间有限的系统的明智之选。

HyTan NEG-离子泵复合泵还采用模块化结构。轻松更换模块即可调整抽速，适应不断变化的系统要求。

该系列产品拥有48种不同型号，根据您的应用从一系列NEG模块、离子泵模块和馈通选件中进行选择。