RUVAC WA / WAU系列 罗茨泵

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Leybold RUVAC 罗茨泵与前级泵配合使用,以实现更低的压力、更高的抽速,并且可用于需要更大抽速的应用情况。传统罗茨泵配有压力开关,可防止热过载,而由变频器操作的或带有内部旁通管路的罗茨泵可连续运行。

这些泵与前级泵相结合,可以将泵系统的极限压力提高 10 倍。使用两级罗茨真空泵和相应的前级泵,可以达到低至 10-5 mbar (0.75 X 10-5 Torr) 的压力。

罗茨泵是内部压缩很小的容积泵。这意味着它们不能直接压缩到大气压,需要搭配相应的前级泵。当选择前级泵和罗茨泵的组合时,两个泵的抽速比具有决定性作用。典型的抽速比介于 1:2 和 1:8 之间。这意味着罗茨泵的抽速通常是连接的前级泵抽速的 2 至 8 倍。抽速比决定着罗茨泵在相应工况点处进口和出口的压差。原则上,所需的电机功率直接取决于此压差并与之成正比。为避免电机过载和泵过热,罗茨泵进出口压差不得超过特定值。
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Leybold 莱宝RUVAC WA/WAU 罗茨泵配有法兰安装式风冷标准三相电机以实现灵活应用,并且采用集成式旁通管路和旁通阀,非常适合各类真空应用。

RUVAC WA / WAU 罗茨泵配有由 FPM (FKM)(氟橡胶)制成的径向轴密封圈,以延长保养间隔。RUVAC WAU 罗茨泵具有额外的集成式旁通管路和压差旁通阀。这些泵标配垂直流,但也可以根据需要改为水平流。

环保的风冷式 RUVAC WA / WAU 干式罗茨泵可节省冷却水费用以及水回路维护成本。RUVAC WA / WAU 在热处理、食品包装和冷冻干燥等多种应用中均已证明其运行可靠,性能出众。

客户得益

两款风冷式系列 WA/WAU,分别包含四种泵规格

采用标准电机,灵活性高,可应对特殊电压并符合ATEX规定

提供 ATEX Cat.3i/o 级型号,所有 WA(U) 泵均符合 ATEX Cat. 3i 标准

易于维护和更换轴密封圈

集成式旁通管路,可在 防止WAU 型号高压过载

可在现场从垂直流转换成水平流

可靠且无故障的真空

RUVAC WA/WAU 罗茨泵是low-e镀膜行业中的标配设备。当与现有的油封 SOGEVAC 泵或 DRYVAC 泵结合使用时,它们可在进出样室中提供较短的抽气时间。当与干式压缩 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵结合使用时,它们可确保在工艺室中实现干燥、可靠和无故障的真空。

缩短周期时间

RUVAC WA/WAU 罗茨泵应用广泛,可在特别需要快速抽空的应用中实现尽可能短的周期时间,例如在进出样室或高速食品包装中。

在低压力下具有高抽速

对于镀膜应用,RUVAC WA/WAU 罗茨泵可在工艺开始前,快速达到低于 10-3 mbar 的压力。

实现大容量抽速

RUVAC WA/WAU 泵可提供大型生产流程中所需的容量,例如用于长晶——制造半导体和太阳能电池的基本材料——单晶硅。我们很乐意为您提供我们广泛的产品以及应用支持和专业技术。

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