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吸气剂抽气测试系统

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吸气剂抽气测试系统是为了检验NEG吸气剂膜对于超高真空残余气体（CO、CO2、H2、
N2、CH4等）的极限容量以及抽速，从而衡量NEG膜的主要性能指标。采用动态膨胀法耦合蒙特
卡洛分子流模拟计算，评估NEG薄膜对于特性气体的极限容量以及抽速/粘滞系数
类型 非标定制真空系统
品牌 立谛微
13986165629
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