VAT超高真空全金属可变泄漏阀

超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。该系列阀门采用全金属设计，是满足超高真空和极端超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。

该系列阀门的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置，增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭，不会出现任何密封疲劳风险。

采用全金属设计（高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封），因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。

此款阀门已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。其已成为超高真空和极高真空应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

超高真空全金属可变泄漏阀提供 DN为16 mm (5/8") 的角阀或内联阀，带手动驱动器，或带配有步进电机的集成式或可拆卸压力控制器。最高可烘烤至300℃。根据烘烤过程中的情况，可以在烘烤过程中取下驱动器。标准法兰为 CF-R，固定到位。

隔膜采用“硬对硬”密封技术，阀门在整个使用寿命内可进行 40 万次控制循环和 1 万次密封关闭循环，无需任何维护，其可作为零部件使用，并且易于更换。