立谛微真空系统（湖北）有限公司

在线质谱仪|分子泵机组|真空计校准系统

文章围绕真空封管机与分子泵机组展开。传统真空获取方式有抽速慢等问题，分子泵机组可助力真空封管机“秒抽”，多个案例证明其能提高生产效率与实验准确性。选择两者组合要考虑真空度、抽气速度、稳定性、价格等因素。未来，它们在技术、应用、市场方面都有新趋势。立谛微推出的桌面油式分子泵机组Turbolab 90i/RD4 Core，有抽速快、智能控制、安全稳定等优势，适用于真空封管。

在半导体蚀刻等实验中，对微小气体流量的精密控制很关键，传统质量流量控制器或普通阀门难以满足极微小、稳定且无污染的气体注入需求，存在控制不精细等痛点。VAT全金属微漏阀是解决方案，它融合密封与机械工艺，有精细调节、全金属密封、可靠性高、耐高温耐腐蚀等优势，适用于半导体制造、前沿科研等场景，能助用户精准控制微小流量，提升产品良率与实验成功率。

在尖端科研与高端制造领域，高真空环境很重要，但传统调节真空度手段存在诸多痛点。VAT/莱宝全金属微漏阀应运而生，它解决了高真空系统精密调节的难题。该阀核心优势突出，能实现精密控制，采用全金属密封，可靠性高、寿命长，耐高温且适用性广。其适用于科研实验、半导体制造、材料镀膜、校准与测量等场景。它为真空度控制带来变革，是提升工艺水平的关键伙伴。

在线质谱仪如何定量校准真空炉内气体组分？一、概述将在线质谱仪与高温真空炉（工作总压0.1 Pa）通过长加热管路联用，定量测量H₂、H2O、N₂、CO、CO₂的分压，需采用动态流导法结合原位相对灵敏度因子（RSF）校准。以下是具体校准步骤，特别针对高温、低气压及长传输管路挑战： 二、核心挑战与应对1. 高温（>1000℃）：气体会与炉壁/样品反应，需确保校准气体在高温下稳定。2. 低总压（...

在线质谱仪在真空炉应用中如何定量分析根据质谱图定量推算真空炉内各组分的分压，需结合质谱仪的定量分析原理和系统结构。以下是关键步骤和注意事项：一、核心原理Ø 质谱信号与分压的关系质谱仪检测的是离子流强度 Ii（单位：nA 或 cps），与气体分压 Pi近似成正比：Ii=Si*Pi Si 是组分Ii的灵敏度系数（单位：nA/Pa 或 cps/Pa），需通过校准获得。 Ø 总压与分压的关系腔...

在线质谱仪在原子层沉积（ALD）工艺中是一个强大的过程诊断和监控工具，它能实时检测反应腔室内的气体成分变化，揭示反应机理、端点检测和工艺异常。然而，要有效利用它并获取可靠数据，需要特别注意以下几个关键问题： 1.采样延迟与时间分辨率： 问题： ALD循环通常很短（秒级）。质谱仪通过采样毛细管从反应腔抽取气体，经管路传输到离子源，这个物理过程必然存在延迟。同时，质谱扫描/检测也需要时间。 影响...

四极杆质谱仪分析N₂和 CO 组分确实存在挑战，因为它们具有相同的标称分子量（28 Da），产生的分子离子峰（N₂⁺和 CO⁺）在质谱图上都出现在 m/z 28 处。这使得仅依靠 m/z 28 的强度无法区分两者。不过，通过利用它们在质谱行为上的细微差别和一些策略，仍然可以进行区分和定量分析。以下是主要的分析方法和思路：1. 利用碎片离子峰：CO (一氧化碳): ...

当在线质谱仪需要分析腐蚀性气体（如HCl、HF、Cl₂、H₂S、SO₂、强氧化性气体等）时，必须采取系统性防护措施，否则会严重损坏离子源、四极杆、探测器等核心部件。以下是关键保护策略和实施方案： 一、核心防护原则l 降低浓度：减少进入质谱室的腐蚀性气体分压；l 物理隔离：阻止腐蚀物接触敏感部件；l 材料兼容：流路选用耐腐蚀材料；l 主动拦截：通过化学反应或吸附去除腐蚀物；l 控制工况：避免冷...