立谛微真空系统（湖北）有限公司

在线质谱仪|分子泵机组|真空计校准系统

在线质谱仪的图形输出是质谱图。质谱图是以离子强度为横坐标、离子质量电荷比为纵坐标的峰形分布图。每种化学物质都有其独特的质谱特征，不同仪器对同一种物质也会产生略有差异的谱图。离子源、质量过滤器、检测器的特性，以及样品进入质谱仪的方式都会影响最终生成的谱图。纯物质很少能获得完整的质谱图，多数情况下（尤其是残余气体分析仪），所获得的谱图通常是构成实际样品的各成分物质的复合谱图。下图展示了空气的质谱...

质谱定量分析（计算分压）分压是指气体混合物中某一特定组分的压力值。根据道尔顿定律，所有分压之和等于总压力。分压分析仪的设计原理是：质谱图中峰的高度与产生该峰的离子数量成正比。在特定操作压力范围内，产生的离子数量大致与该物质的分压成正比。因此，峰的高度与产生该峰的物质分压成正比。公式[4]展示了通过测量质量b处的离子电流来测定物质a的分压关系：PPa =物质a的分压；Kab =物质a在质量b处...

RGA组成及工作原理1. 工作原理 封闭式离子源（CIS）分析仪通过采集代表性工艺气体样本，将其导入残留气体分析仪（RGA）的电离区域。该设备采用固定几何结构的泵入通道，通过持续降低工艺气体压力至涡轮分子泵，实现气体采样与流动控制。检测到的工艺气体杂质含量显著低于开放式离子源RGA分析仪——对于多数成分而言，其检测限可低至亚ppm级别。 2 传感器传感器由三大核心组件构成：离子源（电离器...