立谛微真空系统（湖北）有限公司

在线质谱仪|分子泵机组|真空计校准系统

于2026年5月29-31日在国家会议中心（二期）举办第二十三届中国国际科学仪器及实验室装备展览会（CISILE 2026），集中展示实验室仪器及装备、分析仪器、光学仪器、试验仪器、生命科学仪器、生物技术...

会议信息中国物理学会秋季学术会议（以下简称秋季会议，英文名称为CPS Fall Meeting）是由中国物理学会主办的年度学术会议，始于1999 年。会议旨在增进国内外物理学界的学术交流，提高学术水平，推动物理学科的全面发展和提升人才培养质量。经过 20多年的发展，秋季会议已从最初的200人壮大至今的6000多人，成为中国物理学界规模最大、综合性最强的品牌学术盛会。 中国物理学会2025 秋...

由中国分析测试协会主办的第二十一届北京分析测试学术报告会暨展览会（BCEIA2025）将于2025年9月10-12日（学术报告会9日报到、13日离会）在北京•中国国际展览中心（顺义馆）召开。2025年将隆重庆祝BCEIA举办四十周年，会议将继续秉承“分析科学 创造未来”的发展理念，围绕“辉煌四十载 再谱新篇章”的主题开展学术报告会、论坛和仪器展览会。

文章围绕真空封管机与分子泵机组展开。传统真空获取方式有抽速慢等问题，分子泵机组可助力真空封管机“秒抽”，多个案例证明其能提高生产效率与实验准确性。选择两者组合要考虑真空度、抽气速度、稳定性、价格等因素。未来，它们在技术、应用、市场方面都有新趋势。立谛微推出的桌面油式分子泵机组Turbolab 90i/RD4 Core，有抽速快、智能控制、安全稳定等优势，适用于真空封管。

在半导体蚀刻等实验中，对微小气体流量的精密控制很关键，传统质量流量控制器或普通阀门难以满足极微小、稳定且无污染的气体注入需求，存在控制不精细等痛点。VAT全金属微漏阀是解决方案，它融合密封与机械工艺，有精细调节、全金属密封、可靠性高、耐高温耐腐蚀等优势，适用于半导体制造、前沿科研等场景，能助用户精准控制微小流量，提升产品良率与实验成功率。

在尖端科研与高端制造领域，高真空环境很重要，但传统调节真空度手段存在诸多痛点。VAT/莱宝全金属微漏阀应运而生，它解决了高真空系统精密调节的难题。该阀核心优势突出，能实现精密控制，采用全金属密封，可靠性高、寿命长，耐高温且适用性广。其适用于科研实验、半导体制造、材料镀膜、校准与测量等场景。它为真空度控制带来变革，是提升工艺水平的关键伙伴。

在线质谱仪如何定量校准真空炉内气体组分？一、概述将在线质谱仪与高温真空炉（工作总压0.1 Pa）通过长加热管路联用，定量测量H₂、H2O、N₂、CO、CO₂的分压，需采用动态流导法结合原位相对灵敏度因子（RSF）校准。以下是具体校准步骤，特别针对高温、低气压及长传输管路挑战： 二、核心挑战与应对1. 高温（>1000℃）：气体会与炉壁/样品反应，需确保校准气体在高温下稳定。2. 低总压（...

在线质谱仪在真空炉应用中如何定量分析根据质谱图定量推算真空炉内各组分的分压，需结合质谱仪的定量分析原理和系统结构。以下是关键步骤和注意事项：一、核心原理Ø 质谱信号与分压的关系质谱仪检测的是离子流强度 Ii（单位：nA 或 cps），与气体分压 Pi近似成正比：Ii=Si*Pi Si 是组分Ii的灵敏度系数（单位：nA/Pa 或 cps/Pa），需通过校准获得。 Ø 总压与分压的关系腔...

在线质谱仪在原子层沉积（ALD）工艺中是一个强大的过程诊断和监控工具，它能实时检测反应腔室内的气体成分变化，揭示反应机理、端点检测和工艺异常。然而，要有效利用它并获取可靠数据，需要特别注意以下几个关键问题： 1.采样延迟与时间分辨率： 问题： ALD循环通常很短（秒级）。质谱仪通过采样毛细管从反应腔抽取气体，经管路传输到离子源，这个物理过程必然存在延迟。同时，质谱扫描/检测也需要时间。 影响...

四极杆质谱仪分析N₂和 CO 组分确实存在挑战，因为它们具有相同的标称分子量（28 Da），产生的分子离子峰（N₂⁺和 CO⁺）在质谱图上都出现在 m/z 28 处。这使得仅依靠 m/z 28 的强度无法区分两者。不过，通过利用它们在质谱行为上的细微差别和一些策略，仍然可以进行区分和定量分析。以下是主要的分析方法和思路：1. 利用碎片离子峰：CO (一氧化碳): ...

当在线质谱仪需要分析腐蚀性气体（如HCl、HF、Cl₂、H₂S、SO₂、强氧化性气体等）时，必须采取系统性防护措施，否则会严重损坏离子源、四极杆、探测器等核心部件。以下是关键保护策略和实施方案： 一、核心防护原则l 降低浓度：减少进入质谱室的腐蚀性气体分压；l 物理隔离：阻止腐蚀物接触敏感部件；l 材料兼容：流路选用耐腐蚀材料；l 主动拦截：通过化学反应或吸附去除腐蚀物；l 控制工况：避免冷...

在线质谱仪的图形输出是质谱图。质谱图是以离子强度为横坐标、离子质量电荷比为纵坐标的峰形分布图。每种化学物质都有其独特的质谱特征，不同仪器对同一种物质也会产生略有差异的谱图。离子源、质量过滤器、检测器的特性，以及样品进入质谱仪的方式都会影响最终生成的谱图。纯物质很少能获得完整的质谱图，多数情况下（尤其是残余气体分析仪），所获得的谱图通常是构成实际样品的各成分物质的复合谱图。下图展示了空气的质谱...

质谱定量分析（计算分压）分压是指气体混合物中某一特定组分的压力值。根据道尔顿定律，所有分压之和等于总压力。分压分析仪的设计原理是：质谱图中峰的高度与产生该峰的离子数量成正比。在特定操作压力范围内，产生的离子数量大致与该物质的分压成正比。因此，峰的高度与产生该峰的物质分压成正比。公式[4]展示了通过测量质量b处的离子电流来测定物质a的分压关系：PPa =物质a的分压；Kab =物质a在质量b处...

RGA组成及工作原理1. 工作原理 封闭式离子源（CIS）分析仪通过采集代表性工艺气体样本，将其导入残留气体分析仪（RGA）的电离区域。该设备采用固定几何结构的泵入通道，通过持续降低工艺气体压力至涡轮分子泵，实现气体采样与流动控制。检测到的工艺气体杂质含量显著低于开放式离子源RGA分析仪——对于多数成分而言，其检测限可低至亚ppm级别。 2 传感器传感器由三大核心组件构成：离子源（电离器...

会议信息“中国材料大会2025”于2025年7月5-8日在福建省厦门国际会展中心举行，涵盖能源材料、环境材料、先进结构材料、功能材料、材料设计制备与评价等5大类主题；同时开设一批特色论坛，包括青年论坛、特色新材料论坛、材料教育论坛、材料期刊论坛等，除此之外，还同期举行国际新材料科研仪器与设备展览会等。“中国材料大会”是中国材料研究学会的学术年会，是重要的系列品牌会议之一，是中国新材料...

五个服务技巧可帮助您节省时间、金钱和精力无论您是管理实验室、运行生产线还是维护研究设施，这些技巧都将帮助您：大幅提高真空系统性能延长设备的使用寿命尽可能减少停机时间和维护成本只需 5 分钟即可观看全集，或继续阅读，了解重点。技巧 #1：保持油品洁净真空泵无法达到极限真空的最常见原因之一是油被污染。如果发现油中有结晶、变色或颗粒，则是时候更换了。泵达到工作温度后关闭泵，排出热油并重新加注新油 ...

精准测量，高效掌控真空环境在工业生产和科研领域，对真空环境的精确测量至关重要。如今，莱宝公司推出了两款全新的手持式真空计 ——PIEZOVAC PV 201 和 THERMOVAC TM 201，为真空测量带来了全新的解决方案，以卓越的性能和丰富的功能，满足不同应用场景下的专业需求。技术亮点宽测量范围 ：PV201 能够测量 2000 至 1 mbar 的绝对压力以及 -1060 至 +12...

2025年4月11日至15日，第七届里德堡原子和分子国际研讨会（IWRAM-7）在中国光谷科技会展中心举办。里德堡原子和分子是量子物理和量子科技领域中的重要研究对象。其独特的特性，例如大尺度电子轨道、长寿命以及可控相互作用，使其成为研究多体物理、量子计算、量子光学和精密测量的理想系统。