残余气体分析仪，RGA，在线质谱仪，工艺气体监测仪

残余气体分析仪（Residual Gas Analyzer, RGA）作为一种先进的检测仪器，在真空技术、半导体制造、航空航天以及科研实验等多个领域发挥着至关重要的作用。本文旨在综述残余气体分析仪的基本原理、技术特点、应用领域以及销售卖点。